Функция Исправление искажений из Меню Математика предназначена для корректировки изображения в соответствии с информацией о калибровке. В АСМ-изображениях может значительно проявляться нелинейность пьезокерамического манипулятора микроскопа, из-за этого размеры объектов по краям кадра оказываются увеличены.

При вызове функции появляется окно с параметрами, в котором необходимо задать имя файла, содержащего коэффициенты гистерезиса. Коэффициенты можно получить, например, при помощи функции Создать калибровочную кривую из меню Операции. Файл должен содержать данные для каждой из осей изображения, в простейшем случае он будет иметь только два раздела: x-калибровка и y-калибровка-медленно. Для того, чтобы определить значения этих коэффициентов, сначала получают изображение калибровочной решетки. При этом образец лучше располагать так, чтобы периодические структуры были выровнены вдоль осей сканирования. По изображениям решетки с известным расстоянием между узлами строятся две калибровочные кривые. По каждой из кривых создается файл калибровки. При сохранении файлов можно указывать одно и то же имя для обеих кривых - данные будут сохранены в нужную секцию, в зависимости от ориентации кривой (по X или по Y). Во время экспериментов скорость сканирования нужно выбирать таким образом, чтобы на калибровочных образцах и на исследуемой поверхности она была одинаковой.

При вызове функции Исправление искажений появляется диалоговое окно, в котором сохраненный файл устанавливается в качестве файла коэффициентов. Дополнительно надо указать, вдоль какой из осей обрабатываемого изображения происходило быстрое сканирование, это определит, какие из калибровочных коэффициентов использовать.

После применения новой калибровки изображение будет выглядеть нагляднее, а измеренные на его поверхности величины станут корректнее:

.