Шероховатость поверхности – совокупность неровностей поверхности с относительно малыми шагами, выделенная, например, с помощью базовой линии или части плоскости. Оценивать шероховатость поверхности в программе ФемтоСкан можно как для поверхности, так и для конкретного выделенного профиля вдоль заданного отрезка. В первом случае команда вызывается в меню Математика / Анализ шероховатости. Для того чтобы вывести результаты для профиля поверхности вдоль выделенного отрезка, необходимо выбрать отрезок, далее меню Кривая / Анализ шероховатости. Для поверхности в целом будут выведены следующие параметры :

.

Для профиля вдоль отрезка кроме этих параметров также будут присутствовать дополнительные параметры, связанные с периодичностью сигнала:

.

Разберем эти параметры подробнее.

• R_a средняя шероховатость
• R_max наибольшая высота профиля
• R_q среднеквадратичная шероховатость
• R_sk параметр ассиметрии
• R_ku мера эксцесса
• R_z высота неровностей профиля по 10 точкам
• S_m средний период
• S_mh средний период по пикам
• S_ml средний период по впадинам