Функция распределения вероятности дает вероятность того, что профиль имеет заданную высоту Z. Функция распределения имеет колоколообразную форму и показывает какое «количество» профиля имеет определенную высоту. Параметр асимметрии описывает форму функции распределения вероятности, то есть симметричность разброса профиля относительно средней линии. Коэффициент асимметрии безразмерен. Формулы для непрерывного и дискретного случаев имеют вид:

Профиль с положительным коэффициентом асимметрии, имеет четкие высокие пики, которые выделяются от среднего. Поверхности с отрицательным коэффициентом асимметрии имеют четкие глубокие впадины в гладких плато (пористые поверхности). В менее очевидных случаях параметр асимметрии близок к нулю. Значения больше 1,5 показывают то, что поверхность имеет непростую форму. В таких случаях простые параметры, такие как средняя шероховатость, как правило, не могут адекватно характеризовать качество поверхности.

На рисунке приведен профиль поверхности с узкими пиками и впадинами и симметричной функцией распределения. В данном случае параметр асимметрии будет равен нулю.