Этот параметр до некоторой степени аналогичен средней шероховатости. Среднеквадратичная шероховатость в двумерном, непрерывном случае вычисляется по формуле:

.

В дискретном случае формула приобретает вид:

.

Этот параметр имеет большое значение в оптике, он определяет некоторые оптические свойства поверхности.