Этот параметр до некоторой степени аналогичен средней шероховатости. Среднеквадратичная шероховатость в двумерном, непрерывном случае вычисляется по формуле:
В дискретном случае формула приобретает вид:
Этот параметр имеет большое значение в оптике, он определяет некоторые оптические свойства поверхности.