В основе морфологических фильтров лежат геометрические преобразования формы одного из объектов посредством другого. В СЗМ микроскопии такими объектами чаще всего являются полученное изображение и модель формы иглы.

Данные фильтры используются для удаления уширений на изображениях поверностей и объектов, которые появляются из-за конечной формы зонда или для удаления эффекта двоения при сканировании вискерными кантилеверами. А также для моделирования артефактов сканирования.

Эрозия (Erosion) – морфологическая операция над двумя множествами точек (А и В), результат которой вычисляется по формуле:

Эта операция над двумя произвольными изображениями иглы и поверхности может быть выполнена командой Эрозияиз меню Математика или нажатием кнопки на панели инструментов

.

Активным при этом должно быть окно обрабатываемого изображения, а изображение иглы следует выбрать в появившемся диалоговом окне. Результат эрозии двоящего изображения с зондом вискерной формы приведен ниже.