Содержание

Лабораторная работа «Основы работы на сканирующем зондовом микроскопе»

Работа посвящена освоению базовых принципов работы на современном сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ). Работа состоит из трех частей:

Для обучения используется СЗМ модели «ФемтоСкан» (Центр перспективных технологий), программное обеспечение «ФемтоСкан Онлайн», офисный пакет (OpenOffice.org или Microsoft Office)

Теоретическая часть

Студенты знакомятся с устройством микроскопа, основными компонентами, принципом функционирования обратной связи. Доступ к обучающим материалам предоставляется через специализированный веб-сайт (distant.phys.msu.ru)

Устройство сканирующего зондового микроскопа

Понятие обратной связи

ПИ-регулятор

Эмпирический метод Циглера-Никольса настройки ПИ-регулятора

Кривые зависимости силы от расстояния

* http://www.mechmat.caltech.edu/~kaushik/park/1-6-2.htm Эволюция систем управления зондовыми микроскопами Управление прибором в удаленном режиме – особенности, преимущества, недостатки

Практическая часть

Состоит из следующих заданий:

  1. Настройка параметров обратной связи. Доступ к установке осуществляется через Интернет посредством веб-браузера. Студенты должны подобрать звенья цепи обратной связи для оптимального отклика системы на возмущение.
  2. Настройка параметров обратной связи по методу Циглера-Никольса. Доступ к установке осуществляется через Интернет посредством программы «ФемтоСкан Олайн». Студенты должны подобрать звенья цепи обратной связи для оптимального отклика системы на возмущение, используя метод Циглера-Никольса.
  3. Сканирование образца. Доступ к установке осуществляется с помощью специализированного программного обеспечения. Студенты должны получить изображения образцов и произвести их анализ.

Настройка параметров обратной связи

Задание

  1. На сайте www.nanoscopy.org в разделе Scan Online произвести поочередную настройку интегрального и пропорционального звеньев, устанавливая одно из звеньев в 0 и варьируя второе от 0 до 10 с шагом 0.5, от 10 до появления генерации с шагом 5. Зафиксировать значения, при которых возникает генерация, с точностью до 0.1.
  2. Подобрать пару значений интегрального и пропорционального звеньев, при которых оптимально отслеживается тестовый профиль.

Замечания по выполнению

Только один пользователь может управлять прибором – остальные являются наблюдателями. При подключении через браузер пользователь первоначально является наблюдателем, а при запуске процесса настройки (кнопка Start ) начинает управлять прибором. По окончании настройки ( Stop ) пользователь опять становится простым наблюдателем.

Чтобы избежать поломки прибора неопытным пользователем, для выполнения задания используется макет микроскопа – выход сигнала обратной связи замкнут на координату Z .В реальном приборе отклик системы будет иметь другие характеристики, соответственно оптимальные значения звеньев будут отличаться.

Отчетные материалы

Настройка параметров обратной связи по методу Циглера-Никольса

Задание

В программе «ФемтоСкан Онлайн» (см. руководство программы) произвести настройку пропорционального и интегрального звеньев:

  1. Подключиться к серверу www.nanoscopy.org порт 25000 (стр. 23 руководства)
  2. Запустить процесс «Модуляция Z» (стр. 30, 35 руководства)
  3. Подобрать пропорциональное и интегральное звенья по методу Циглера-Никольса для ПИ регулятора (Исходные данные: частота дискретизации 15 КГц)

Для расчета использовать следующие формулы

Замечания по выполнению

Установить программу « ФемтоСкан Онлайн », скачав последнюю версию с сайта. При установке выбрать тип установки «Обычная», либо при выборочной установке не устанавливать серверные компоненты (они ставятся только на компьютере непосредственно подключенном к прибору). Запросить у преподавателя ключ для регистрации программы (временная версия без ключа не позволяет подключиться к прибору). После регистрации в программе должно появиться меню «СЗМ» (ограничение по времени использования при этом может остаться).

Для измерения периода автомодуляции нужно:

  1. Остановить процесс - появится новое окно с копией кривой модуляции.
  2. Выделить на кривой маркерами участок с автогенерацией и сделать его копию (Кривая/Копировать).
  3. На появившемся участке измерить период колебаний более точно маркерами или на спектре.

Отчетные материалы

Сканирование образца

Задание

  1. Запустить программу ФемтоСкан Онлайн
  2. Подключиться к серверу (адрес узнать упреподавателя), команда меню СЗМ/Подключиться клиентом. При подключении в поле «Пользователь» указать свою фамилию, иначе результаты сканирования могут быть не защитаны ввиду невозможности идентификации.
  3. Перейти в режим управления (меню программы СЗМ/Подключиться Мастером)
  4. Произвести первоначальный подвод (при необходимости)
  5. Осуществить калибровку по кривой подвода-отвода F ( Z )
  6. Получить изображения образца с разнымразрешением:
    1. Изображение максимального поля сканирования (максимальные ширина и высота в окне параметров на закладке «Поверхность»)
    2. Изображения 4-х квадрантов максимального поля:

Отчетные материалы

Обработка результатов

Обработка результатов производится в специализированном программном обеспечении «ФемтоСкан Олайн». Результаты сканирования обрабатываются, анализируются, подготавливается отчет.

Отчет включает:

  1. Скриншоты веб-браузера
  2. Файлы с данными снятых кривых
  3. Файлы с данными сканированной поверхности
  4. Гистограммы распределения объектов по длине, ширине, высоте(глубине)

Отчетные материалы предоставляются в виде файла-презентации на электронную почту или через веб-интерфейс.